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[常见问题]真空系统中有哪些气体需要被抽?[ 2018-03-29 08:05 ]
首先是真空系统工艺过程中产生的气体。它包括工艺过程中材料放出的气体以及工艺需要而引入的气体,同时真空系统中液体或固体蒸发的气体也包含其中。不同的工艺过程以及不同的被处理材料,这部分气体的量的计算都是不同的。
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