常见的真空机组特点及分类

完善的真空系统是由真空泵或真空机组以及各种管路、测量装置、阀门、电气控制系统等一系列的配套辅助元件设施一同构成的

真空机组一般根据主泵的类型来命名，然后可根据产品特点来进行分类，如含油真空机组与无油真空机组；更常见的，是按真空应用范围来，可分为低真空机组、中真空泵机组、高真空机组及超高真空机组。

低真空机组工作压力高、排气量大，多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。低真空机组常用的主泵，容积式真空泵中的往复泵、水环泵、油封机械泵、螺杆真空泵、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等这些直排大气型的真空泵都可以胜任，但根据被抽气体的清洁程度、湿度及其他条件，需配置除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。

中真空机组，适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中，如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。以往中真空机组由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆真空泵这样的无油真空泵的兴起，罗茨真空泵+螺杆真空泵这样的无油真空机组也逐渐增多，适应性更广。

高真空机组工作于分子流状态下，工作压力区间在10-2～10-6Pa，排量小、抽速大，一般情况下主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵以及低温冷凝泵等来承担，由于它们无法直接在大气下工作，因此必须配置前级泵、预抽泵等，特殊情况下为防止气压波动还需要配置维持泵与储气罐等。

超高真空机组工作压力区间在10-6～10-10Pa，需要主泵的极限真空要在10-7～10-8Pa以上且在工作压力区间内保证相应的抽速，如溅射离子泵、涡轮分子泵等，而且对系统组成的材料要求能经受200～450℃高温烘烤并保证低漏气率与出气率等等。