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真空系统中有哪几种压力参数呢?

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2018-03-18 08:05【


压力参数在真空系统中随处可见,指的是气体对于固体或者液体表面的垂直作用力,且在真空系统中它是与压强同义的。


最常见的压力参数自然是极限压力。极限压力是真空系统中真空泵性能的主要参数之一。通俗的理解就是真空系统抽气过程中,经过长时间抽气,当真空泵或真空机组的抽速为0或者说真空室的压力参数一直维持在某一定值时,那就是真空泵或者真空机组的极限压力了。


其次是工作压力。工作压力就是企业生产过程中,为保证工艺实施及产品质量所必需的压力参数。真空设备选型过程中,为满足工艺要求,设备的极限压力都会低于工作压力一个数量级左右。


基础压力。在某些工艺领域或者技术人员口中,基础压力也叫本底压力,指的是生产工艺开始实施时真空室的压力。例如磁控溅射应用可能需要将本地压力抽至10-4Pa,而溅射过程的工作压力可能在1Pa左右。


残余压力。残余压力某些时候其实和极限压力一样,是指经过真空泵或者真空机组一段时间的抽气作业后,真空室中残存气体的全压。如果此时的真空系统已经没有抽速了,那残余压力就是真空泵或者真空机组的极限压力。